~16 heures en salle blanche (Grenoble)
Techniques pratiquées : Lithographie optique, gravure plasma, dépôt de métaux
Outils utilisés : MEB, profilomètres, postes humides
Projets : Guides d’ondes passifs, structures MOS simples, fabrication de cellules photovoltaïques
Entrer en salle blanche
Lors de ma deuxième année à Phelma, j’ai eu ma première expérience pratique en salle blanche. Équipé de la tête aux pieds, j’ai vite compris à quel point il est différent de travailler dans un environnement aussi contrôlé. Cela m’a rappelé la période COVID d’une certaine manière, mais cette fois, l’équipement n’était pas seulement protecteur — il était nécessaire pour protéger les nanostructures de la poussière et des particules.
Après la préparation, nous avons visité la salle blanche et découvert l’ensemble des équipements que nous n’avions vus qu’en cours : machines de photolithographie, graveurs, chambres de dépôt et microscopes. Voir ces outils de près pour la première fois était vraiment impressionnant.
Du silicium au dispositif
L’objectif de cette formation n’était pas seulement l’observation, mais la fabrication. Notre tâche : créer une cellule photovoltaïque à partir d’une plaquette de silicium brute.
Étape par étape, nous avons réalisé :
- Lithographie optique pour définir les motifs sur la plaquette.
- Gravure plasma pour transférer ces motifs dans le matériau.
- Dépôt de métal pour former les contacts.
Nous avons également eu l’occasion de fabriquer des structures plus simples comme des guides d’ondes passifs et des transistors MOS, ce qui nous a donné une meilleure vision de la manière dont les mêmes procédés de base peuvent servir à des applications très différentes.
(Insérer photo de moi en combinaison ici)
Caractérisation
Quelques semaines plus tard, nous avons ramené nos échantillons au laboratoire pour les caractériser. À l’aide de profilomètres, microscopes électroniques à balayage (MEB) et postes humides, nous avons analysé les structures que nous avions fabriquées.
La cellule photovoltaïque fonctionnait — pas très efficacement, mais suffisamment pour démontrer l’ensemble du processus, de la conception à la mesure. Voir la lumière se transformer en électricité avec un dispositif que nous avions fabriqué nous-mêmes était à la fois satisfaisant et motivant.
(Insérer photos des échantillons et de la caractérisation ici)
Réflexion
Cette courte formation (~16 h) en salle blanche m’a donné un premier aperçu de la nanofabrication, transformant la théorie en pratique. Elle m’a appris non seulement l’importance de la précision et de la propreté, mais aussi comment des étapes de fabrication diverses se combinent pour produire des dispositifs fonctionnels.
Même si le dispositif final était loin d’être parfait, l’expérience a confirmé mon intérêt pour travailler à l’intersection de la physique, des matériaux et de la technologie.